高真空不銹鋼隔膜閥的密封原理是隔膜或隔膜組件被操作機構的向下運動壓下，與堰式襯里閥體或直通式襯里閥體的通道密封。密封比壓取決于封閉件的向下壓力。因為閥體可以內襯各種軟質材料，如橡膠或聚四氟乙烯等。膜片也是用軟質材料制成的，比如襯有橡膠的聚四氟乙烯或者合成橡膠，所以用很小的密封力就可以完全密封。
高真空不銹鋼隔膜閥只有三個主要部件:閥體、隔膜和閥蓋組件。隔膜的下閥體腔與上閥蓋腔分開，使隔膜上方的閥桿、閥桿螺母、閥瓣、氣動控制機構、電控機構等部件不與介質接觸，不會發生介質泄漏，從而省去了填料箱的密封結構。
